ในการกำเนิด Cold Plasma นั้น อากาศจะถูกป้อนเข้าไปในสนามไฟฟ้าที่มีแรงดัน และความถี่เหมาะสมจะกระตุ้นให้อะตอมของก๊าซแตกตัวออก โดยเฉพาะ ออกซิเจน (O2 เปลี่ยนสภาพเป็น O-) ทำให้เกิดก๊าซที่มีสถานะที่เรียกว่า “แอคทีฟ ออกซิเจน” ซึ่งมีคุณสมบัติในการ “ออกซิเดชั่น” เช่นเดียวกับโอโซน (O3) แต่มีความเข้มข้นน้อยกว่า แต่ในการใช้งานจริง Cold Plasma จะถูกออกแบบให้มีอัตราการไหลที่สูง จึงทำให้ประสิทธิภาพในการกำจัดกลิ่นสูงมาก และระยะเวลาการทำปฏิกิริยาน้อย (โดยทั่วไป ไม่เกิน 1 วินาที) ทำให้สะดวกต่อการนำไปใช้งานมากที่สุด ในการเกิด Cold Plasma จะมีเฉพาะอิเล็กตรอน ที่อุณหภูมิสูงขึ้นจากการทำงาน โดยที่ก๊าซที่ผลิตได้ยังคงมีอุณหภูมิต่ำ